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化學名：四乙氧基硅烷（電子級）

CAS：78-10-4

牌號：BOSIL-781

產品信息

四乙氧基硅烷

分子式：C₈H₂₀O₄Si

分子量：208.33

產品特性

電子級四乙氧基硅烷(TEOS)，主要用于IC晶圓制造過程中的CVD制程，對其純度要求非常嚴格，純度需8N以上，各項雜質需小于1個ppb，尤其是金屬離子雜質(Na、K、Mg、Fe、Ca、Al等)，金屬離子是電活性雜質，會降低沉積在半導體器件二氧化硅薄膜層絕緣性能，會導致微米級的電路互相聯(lián)通，從而導致電路板報廢。電子原料級四乙氧基硅烷，總陽離子含量和總氯含量極低，完全具備加工成電子級四乙氧基硅烷的條件。

理化數據

注：以上數據僅供參考，不能作為技術規(guī)格制定

產品應用

四乙氧基硅烷（電子級）用于加工成電子級四乙氧基硅烷用于晶圓的制造。用于生成二氧化硅薄膜，是半導體、分立器件、微機電系統(tǒng)制造所需的電子化學品。

四乙氧基硅烷（電子級）用作半導體行業(yè)制作高品質研磨粒子。

四乙氧基硅烷（電子級）可以做無氯或者超低氯的耐熱材料。

保存儲存期

密封保存，保質期12個月。容器打開后應封好以防水汽進入產生水解。

包裝

可用容器的大小型號可以向新藍天處查詢。