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化學(xué)名：四甲氧基硅烷（電子級）

CAS：681-84-5

牌號(hào)：BOSIL-681

產(chǎn)品信息

四甲氧基硅烷

分子式：C₄H₁₂O₄Si

分子量：152

產(chǎn)品特性

四甲氧基硅烷可以水解形成二氧化硅研磨粒子（硅溶膠），其分散性及選擇性好，活性極強(qiáng)，易于處理過程清洗的廢液，常用于硅、SiO₂層間介電層的拋光。

四甲氧基硅烷的二氧化硅含量比四乙氧基硅烷的高，做成二氧化硅研磨粒子成本更低。

理化數(shù)據(jù)

注：以上數(shù)據(jù)僅供參考，不能作為技術(shù)規(guī)格制定

產(chǎn)品應(yīng)用

四甲氧基硅烷（電子級）可用作溶膠-凝膠反應(yīng)中間體。

四甲氧基硅烷（電子級）可以做無氯或者超低氯的耐熱材料。

四甲氧基硅烷（電子級）用作半導(dǎo)體行業(yè)制作高品質(zhì)研磨粒子。

四甲氧基硅烷比正硅酸乙酯價(jià)格低，二氧化硅含量高，可以用于制備半導(dǎo)體CVD制程。

保存儲(chǔ)存期

密封保存，保質(zhì)期12個(gè)月。容器打開后應(yīng)封好以防水汽進(jìn)入產(chǎn)生水解。

包裝

可用容器的大小型號(hào)可以向新藍(lán)天處查詢。