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化學(xué)名:四乙氧基硅烷(電子級)
CAS:78-10-4
牌號:BOSIL-781
產(chǎn)品信息
四乙氧基硅烷
分子式:C8H20O4Si
分子量:208.33
產(chǎn)品特性
電子級四乙氧基硅烷(TEOS),主要用于IC晶圓制造過程中的CVD制程,對其純度要求非常嚴(yán)格,純度需8N以上,各項雜質(zhì)需小于1個ppb,尤其是金屬離子雜質(zhì)(Na、K、Mg、Fe、Ca、Al等),金屬離子是電活性雜質(zhì),會降低沉積在半導(dǎo)體器件二氧化硅薄膜層絕緣性能,會導(dǎo)致微米級的電路互相聯(lián)通,從而導(dǎo)致電路板報廢。電子原料級四乙氧基硅烷,總陽離子含量和總氯含量極低,完全具備加工成電子級四乙氧基硅烷的條件。
理化數(shù)據(jù)
注:以上數(shù)據(jù)僅供參考,不能作為技術(shù)規(guī)格制定
產(chǎn)品應(yīng)用
四乙氧基硅烷(電子級)用于加工成電子級四乙氧基硅烷用于晶圓的制造。用于生成二氧化硅薄膜,是半導(dǎo)體、分立器件、微機(jī)電系統(tǒng)制造所需的電子化學(xué)品。
四乙氧基硅烷(電子級)用作半導(dǎo)體行業(yè)制作高品質(zhì)研磨粒子。
四乙氧基硅烷(電子級)可以做無氯或者超低氯的耐熱材料。
保存儲存期
密封保存,保質(zhì)期12個月。容器打開后應(yīng)封好以防水汽進(jìn)入產(chǎn)生水解。
包裝
可用容器的大小型號可以向新藍(lán)天處查詢。
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